SINGAPOUR, 28 juillet (Reuters) - La Chine a commencé à produire en série des machines de lithographie DUV () à immersion dans l’ultraviolet profond (DUV)) développées localement, une technologie cruciale pour la fabrication de puces de pointe, a déclaré une source proche du dossier, marquant ainsi une avancée majeure dans la volonté de Pékin de réduire sa dépendance vis-à-vis des technologies étrangères.
Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, une entreprise publique chinoise peu connue, dirige ce projet de production après avoir intégré des équipes issues des meilleures start-ups chinoises spécialisées dans la lithographie, a précisé cette source, qui a souhaité rester anonyme en raison du caractère sensible du sujet.
Cette avancée constitue un succès pour l’initiative nationale de Pékin visant l’autosuffisance en semi-conducteurs, l’une des principales priorités du président Xi Jinping, mais ne représentera pas une menace commerciale immédiate pour le fournisseur néerlandais ASML.
La lithographie DUV est un outil essentiel à la fabrication de puces, longtemps dominé par ASML .
Le site d’information spécialisé dans le secteur technologique “The Information” a été le premier à faire état (link) lundi du développement de cet outil par la Chine, indiquant qu’une entreprise non identifiée soutenue par l’État, située à Shanghai, avait commencé à fabriquer ces machines et prévoyait d’en produire environ cinq cette année et une vingtaine en 2027. Reuters est le premier à révéler l’identité de cette entreprise.
La machine DUV d’Aishengna devrait encore faire l’objet de tests supplémentaires et est encore loin d’égaler les modèles concurrents de la société néerlandaise, a indiqué la source.
Un déploiement réussi offrirait toutefois aux fabricants chinois de puces une source alternative d’équipement si les gouvernements occidentaux venaient à restreindre davantage les exportations ou la maintenance des outils de lithographie étrangers.
Les machines DUV de fabrication chinoise devraient être livrées cette année à de grands fabricants de puces chinois, notamment Semiconductor Manufacturing International Corp (SMIC), Hua Hong Semiconductor et le fabricant de puces mémoire ChangXin Memory Technologies (CXMT), a indiqué The Information, citant deux personnes proches du dossier.
Les machines DUV à immersion utilisent une couche d’eau entre la lentille de projection et une plaquette de silicium pour imprimer des motifs de circuits plus petits que les systèmes à sec conventionnels.
Elles sont utilisées pour produire une large gamme de puces et peuvent également être adaptées à la fabrication de semi-conducteurs plus avancés grâce à la technique de "multiple patterning", qui nécessite des expositions répétées de la même couche.
ASML n’a pas immédiatement répondu à une demande de commentaire. SMIC, Hua Hong et CXMT n’ont pas non plus répondu aux demandes de commentaire.
Après avoir chuté de 8% lundi à la suite de l’article publié par The Information , l’action ASML reculait de 1,6% à 09h06 GMT, suivant la tendance des autres valeurs du secteur européen des puces électroniques, mais sous-performant l’indice paneuropéen STOXX 600 .
AISHENGNA SOUTENUE PAR SHANGHAI CAPITAL ET TECH
Aishengna a été créée en août 2023 avec un capital social de 7 milliards de yuans (1,0 milliard de dollars), soutenue par seulement deux actionnaires publics — Shanghai Electric Holding et une filiale de Shanghai International Trust, selon les registres de la société.
On sait peu de choses sur cette entreprise, qui ne dispose pas de site web et n’a rien divulgué publiquement concernant ses activités. La source a indiqué que la société avait intégré des équipes de la start-up de lithographie Yuliangsheng, qui avait commencé à tester un prototype DUV l’année dernière, ainsi que de Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE).
SMEE et Yuliangsheng, filiale du fabricant d’équipements SiCarrier soutenu par Huawei, sont étroitement impliquées dans les efforts de Pékin visant à atteindre l’autosuffisance en matière de semi-conducteurs.
Les registres d’entreprise et de recrutement indiquent qu’Aishengna et Yuliangsheng partagent une même adresse à Shanghai.
Aishengna, ses actionnaires, SMEE et Yuliangsheng n’ont pas répondu aux demandes de commentaires.
À LA POURSUITE D’ASML
La Chine s’est vu interdire par les États-Unis l’achat des systèmes de lithographie à extrême ultraviolet (EUV) les plus avancés d’ASML, tandis que les contrôles à l’exportation néerlandais ont également restreint son accès à certaines machines DUV de pointe. Même si Pékin mise sur l’autosuffisance, la Chine reste un pilier essentiel du chiffre d’affaires d’ASML, représentant environ 16% du chiffre d’affaires net du géant néerlandais au premier semestre. Bien qu’ils n’aient pas accès aux systèmes EUV de pointe, les fabricants de puces chinois continuent de s’équiper massivement d’outils DUV moins avancés.
Reuters a rapporté en décembre (link), citant des sources, que la Chine avait réussi à construire un prototype de système EUV, un outil essentiel à la fabrication des puces les plus avancées au monde, même si la mise en production n’est pas prévue avant plusieurs années. Malgré la réaction du marché, les analystes estiment que cette nouvelle ne devrait pas avoir d’impact sur la trajectoire des résultats d’ASML à moyen terme. "Produire une poignée d’outils DUV à immersion n’est pas la même chose que produire des outils pouvant être utilisés pour une fabrication à grand volume, où le rendement, la superposition, le débit et la fiabilité sur des milliers de cycles de plaquettes sont ce qui compte", ont écrit mardi les analystes de JP Morgan Chase dans une note.
