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(Au paragraphe 9, veuillez lire Intel utilise la technologie de fabrication 18A pour tester les outils à NA élevée, et non les machines à NA élevée pour développer la technologie de fabrication 18A) par Stephen Nellis
Intel INTC.O a déclaré lundi que les deux premières machines de lithographie de pointe d'ASML Holding ASML.AS sont "en production" dans ses usines, les premières données indiquant qu'elles sont plus fiables que les modèles précédents.
Lors d'une conférence à San Jose, en Californie, l'ingénieur principal d'Intel, Steve Carson, a déclaré qu'Intel avait produit 30 000 wafers, les grands disques de silicium qui peuvent produire des milliers de puces informatiques, en un seul trimestre avec les machines de lithographie à grande ouverture numérique d'ASML (NA).
L'année dernière, Intel a été le premier fabricant de puces au monde à prendre livraison de ces machines, qui devraient produire des puces plus petites et plus rapides que les précédentes machines d'ASML. Il s'agit d'un changement de stratégie pour Intel, qui a tardé à adopter la génération précédente de machines de lithographie dans l'ultraviolet extrême (EUV). Il lui a fallu sept ans pour mettre en place ces machines.
Il lui a fallu sept ans pour mettre ces machines en production, ce qui lui a fait perdre son avance sur Taiwan Semiconductor Manufacturing Co 2330.TW . Intel s'est heurté à la fiabilité de ces anciens modèles EUV au cours des premières étapes de la production.
Toutefois, M. Carson a déclaré que les nouvelles machines High NA d'ASML sont environ deux fois plus fiables que la génération précédente lors des tests initiaux.
"Nous sortons des wafers à un rythme régulier, ce qui est un énorme avantage pour la plate-forme", déclare M. Carson.
Les nouvelles machines d'ASML, qui impriment des caractéristiques sur les puces à l'aide de faisceaux lumineux, peuvent également effectuer le même travail que les machines précédentes en utilisant moins d'expositions, ce qui permet d'économiser du temps et de l'argent.
Selon M. Carson, les premiers résultats obtenus dans les usines d'Intel montrent que les machines High NA peuvent faire ce qui nécessitait trois expositions et environ 40 étapes de traitement avec une seule exposition et un nombre d'étapes de traitement "à un chiffre".
Intel utilise sa technologie de fabrication 18A, dont la production de masse est prévue avec une nouvelle génération de puces PC dans le courant de l'année, pour tester les outils à NA élevée.
L'entreprise a déclaré qu'elle prévoyait de mettre les machines à NA élevée en production complète avec sa prochaine génération de technologie de fabrication appelée 14A, mais elle n'a pas donné de date de production en masse pour cette technologie.
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