Le spécialiste français des gaz industriels va consacrer près d'un tiers de ses investissements à des projets dans le secteur des semi-conducteurs, identifié comme un moteur de croissance. En toile de fond : les gaz spéciaux pour l'électronique (GSE), cruciaux dans la chaine de fabrication des puces haute-technologie.
Une plaquette de circuit intégré, à l'Institut de recherche sur les semi-conducteurs de Séoul, en avril 2025 (illustration) ( AFP / ANTHONY WALLACE )
En pleine lumière depuis plusieurs années via ses géants TSMC, Samsung, Intel ou encore SK Hynix, le secteur des semi-conducteurs se revèle porteur pour de nombreuses industries dont celle des gaz industriels. Air Liquide a ainsi confirmé mardi 29 juillet des objectifs financiers pour 2025, après une hausse de 7,2% de son bénéfice net au premier semestre. Le groupe français mise sur le nouveau filon des puces haute-technologie, dont la conception nécessite des gaz aux propriétés bien spécifiques.
Un gaz spécial, qu'est-ce que c'est?
Le secteur de l'électronique repose notamment sur l'utilisation de gaz spéciaux pour l'électronique (GSE), utilisés dans une multitude de cas. Ces gaz comprennent à la fois des gaz de haute pureté et des mélanges de gaz.
Pourquoi les semi-conducteurs sont gourmands en gaz spéciaux?
Selon le blog spécialisé de l'industriel DwyerOmega (ex-PST), la fabrication de semi-conducteurs peut impliquer jusqu'à 30 gaz différents dans l'ensemble des étapes de conception.
Ces gaz rares sont destinés aux salles blanches des producteurs et aux usines de puces mémoire, matière première indispensable de l'émergence de l'intelligence artificielle (IA). Au premier semestre, les principaux démarrages d'activité d'Air Liquide ont ainsi notamment porté sur sept unités de production de gaz pour l'industrie électronique en Asie ainsi qu'une unité de production de molybdène en Corée du Sud.
Dans la pratique, ces gaz sont par exemple utilisés pour établir une atmosphère inerte ou rincer des chambres de production. Certains sont utilisés lors des opérations de gravure, pour créer couches et pistes des puces. Ces opérations de haute précision nécessitent ainsi des gaz de très haute pureté.
Le molybdène, nouveau matériau pour les puces du futur
Selon Air Liquide, les gaz sont utilisés à chaque étape critique de la production des puces , du dépot des couches de silicium jusqu'au traitement thermique final, en passant par la gravure puis le nettoyage des surfaces de production. Lors de ces quatre étapes, Air Liquide utilise divers gaz. Certains sont bien connus, dont l'azote, l'argon, l'hydrogène ou le xénon. D'autres sont plus complexes, comme le silane, ainsi que des gammes de matériaux avancés.
L'une d'elle, baptisée "Subleem", est ainsi au coeur du projet annoncé à Hwaseong, en Corée du sud, pour l'ouverture d'une usine de production de molybdène, en partenariat avec les clients locaux fondeurs de puces.
Ce métal, décrit comme un alternative prometteuse au tungstène, est développé pour succéder au matériau traditionnel de fabrication des puces. "Le molybdène révolutionne le secteur et permet de concevoir les prochaines générations de puces mémoire et logique les plus avancées, porté par l’accélération des applications de l’Intelligence Artificielle", assure ainsi Air Liquide. "Le mobyldène, c'est la prochaine révolution dans les semi-conducteurs, une molécule qui va permettre de remplacer le tungstène dans les puces" a abondé pour sa part le PDG du groupe, François Jackow, qualifiant l'élément de "nouvelle frontière" de l'IA, selon lui.
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